A MICROELECTRONIC SENSOR WITH FREQUENCY OUTPUT FOR DETERMINING LIFETIME OF THE CHARGE CARRIERS BY THE METHOD OF CONDUCTIVITY MODULATION IN A POINT CONTACT

Abstract

The technologies of manufacturing semiconductor devices use different methods for studying their parameters, which are evaluated according to the changes of their structure-sensitive electrical parameters – diffusion path length LD of the unbalanced charge carriers and their lifetime τ [4]. The known procedures [1] for determining these parameters make it possible to estimate LD and τ for the volume of semiconductors. Therefore, it was an important task of this research to study the possibilities to determine τ by means of voltage-to-frequency conversion as well as further analysis and processing of the frequency signal, which allows to improve accuracy of τ estimation. The procedure for measuring lifetime of charge carriers by the method of conductivity modulation in the point contact was considered. REFERENCES 1. Блад П. Методы измерения электрических свойств полупроводников / П. Блад, Дж.В. Оргон. – Зарубежная радиоэлектроника, 1981. – 49 с. 2. Ковтонюк Н. Ф. Измерение параметров полупроводниковых материалов / Н. Ф. Ковтонюк, Ю. А. Концевой. – «Металургия», 1970. – 432 с. 3. Павлов Л. П. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов: Учеб. для вузов по спец. «Полупроводниковые и микроэлектронные приборы» / Л. П. Павлов. – М.: Высш. школа, 1987. – 239 с. 4. Батвин В. В. Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур / Батвин В. В., Концевой Ю. А. Федорович Ю. В. – М.: Радио и связь, 1985. – 264 с. 5. Уколов А. И. О применимости методик определения параметров рекомбинации носителей заряда к приповерхностным слоям полупроводника / А. И. Уколов, В. А. Надточий, А. З. Калимбет, Д. С. Москаль // Пошук і знахідки. Серія: фізико – математичні науки. – 2010. – № 1. – С. 88 – 94. 6. Осадчук В. С. Напівпровідникові перетворювачі інформації / В. С. Осадчук, О. В. Осадчук. – Вінниця ВНТУ, 2004. – 208 с. 7. Огляд методів визначення часу життя носіїв заряду в напівпровідниках [Електронний ресурс] / В. С. Осадчук, О. В. Осадчук, Р. В. Дуда // Новости научной мысли – 2013: VIII Міжнародна науково технічна конференція, 27 жовтня – 5 листопада 2013 р. м. Прага, Чехія: тези доповідей – Режим доступу: http://www.rusnauka.com/31_NNM_2013/Tecnic/6_145682.doc.htm.